株式会社オーピーシー

オハラグループの株式会社オーピーシー
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ナノインプリント用モールド基板

■主用途
・ナノインプリント用モールド基板

■硝種
・石英ガラス（高UV透過率）
・無アルカリガラス等　各種ガラス対応可能

■形状
【外径】　φ100mm～φ300mm、□228.6mm、□250mmの実績あり。その他形状もご相談ください
【板厚】　ｔ0.3～1.1mm　左記以外も対応可
※SEMIノッチ、オリフラ対応可能

■精度
【板厚】　±0.005mm　対応可能
【TTV】　＜1μm　対応可能

■梱包
・Class100クリーンルーム内での検査梱包（Si-wf用FOSB使用可能）

■オプション
・レーザーマーク対応可能（IDナンバー、QRコード他）
・インナーマーキングについてはご相談ください

【干渉縞・等高線・鳥観図・X断面・任意断面】
TTV＝0.39μm　(＠Φ200)